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半導體工業用石墨加工資料的優點

作者:jcshimo 發布時間:2021-10-12 15:54:57

  石墨的加工是碳的一種同素異形體,為灰黑色、不透明固體,化學性質安穩,耐腐蝕,同酸、堿等藥劑不易發生反應。在氧氣中燃燒生成二氧化碳,可被強氧化劑如濃硝酸、高錳酸鉀等氧化。半導體與光伏工業用石墨加工資料的優點。

1、密度:石墨加工單晶的理論密度是2.26g/cm3,一般人造石墨加工的密度都在1.5-1.9g/cm3之間,固體的熱解碳的密度可達2.1g/cm3,純石墨加工的密度值是其質量除以體積﹙含一切的氣孔﹚所得的商。

2、機械強度:人造石墨加工不同于其它大部分的資料,它的抗張、抗折和抗壓強度會跟著溫度的升高而增大,當到達2200K之后,其強度會下降。在2200K時,石墨加工的強度值較室溫時高一倍,一般用于半導體、光伏工業的石墨加工資料的抗壓強度到達90-150Mpa;抗折強度為40-65Mpa。

3、導電性:同其他金屬不同,石墨加工的電阻溫度系數是負數。石墨加工的導電性好。挨近絕對零,只具有少數自由電子,自身可充任絕緣體,跟著溫度的上升,其導電性會添加。石墨加工的導電性較許多金屬要高,且跟著溫度的添加其數值下降。石墨加工的導熱性跟著其石墨加工化程度的不同而有所不同。

4、熱膨脹性:石墨加工的熱膨脹系數以3×10-6K-1級擺放,即只相當于鐵的1/4。不同牌號的石墨加工其熱膨脹系數值會有所改變,也同石墨加工資料的各向異性及溫度有關。

5、比熱:石墨加工的比熱在500K-1500K溫度范圍內改變較大,它跟著溫度的增高,也有較大的增高。而不同牌號的石墨加工,其比熱改變很小。

6、耐溫性:石墨加工不會熔化,但在3900K溫度時能耐溫至750K。石墨加工有非常好的抗熱沖擊功能,因而急速地加熱或冷卻,石墨加工都不會有問題。

7、可加工性:石墨加工容易加工,其邊際強度和耐磨性好。結構復雜、公役嚴格的部件都可以通過精加工獲得。石墨加工具有很好的耐浸潤性,它不會被熔化的玻璃或大部分金屬浸潤。

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